石英卤素红外发射器

在300mm生产线上，软烘烤过程绝不能马虎。温度曲线漂移仅2°C，就能导致关键尺寸（CD）控制偏移纳米级。当热源无法在晶圆面上保持±0.1°C的温度控制，或因颗粒产生引发非计划的预防性维护时，这样的误差空间会迅速消失。石英卤素红外发射器正是为此类环境设计，系统运行时间和重复性是唯一可接受的参数。...