近红外 NIR 发射灯泡

在光刻车间，你知道该怎么做。温度波动几度就足以影响关键尺寸，使大量晶圆变成废料。软烘烤和硬烘烤不仅仅是“加热步骤”。它们是锁定溶剂去除、管理薄膜应力和设定必须在后续蚀刻和沉积过程中生存的热预算的环节。当烘烤曲线偏离时，你会遇到污垢、附着问题和边缘粗糙度。 真正重要的内容 我们使用近红外（NIR）发...