空気を加熱するのをやめよう：ファブを脱炭素化するためのより賢い方法 クリーンルームで炭素中性の目標を達成したいのであれば、ヒーターの使い方を見直す必要があります。現在、多くのファブでは対流式のヒーターが使われていますが、これは単なる無駄遣いに過ぎません。わずか1枚のウェハーを適切な温度にするために...

スマートファブで適切な温度制御を実現するには Industry 4.0向けのスマートファブを構築する際、まず最初にすべきことは、従来の対流式加熱法に頼るのをやめることです。それではうまくいきません。 私たちはクリーンルーム内の作業台で赤外線ランプを使用しています。なぜかというと、赤外線ランプは放射...