半导体洁净室推车式加热器

我们为何选择红外线加热技术用于半导体处理设备 在深度加工过程中，将晶圆或基板从一处转移到另一处时，保持温度稳定至关重要。长期以来，我们一直使用热风来加热物体。但最近，我们开始采用红外线加热技术，其效果截然不同。 其实，关键在于热量是如何传递到被加热物体上的。 使用空气加热的弊端 以强制对流的方式加...