可控气氛烘烤灯

在光刻工厂中，光刻胶固化或晶圆干燥过程中温度的波动不仅仅是一个规格问题——它还可能导致整个生产流程失败。传统的灯管会试图保持恒定的温度，但当环境条件发生变化时，就容易产生应力、污渍以及颗粒物，这些都会在缺陷检测中被发现。 从技术层面来看，重要的是什么？ 我们使用的是具有短波卤素/石英元件的可控气氛...