クリーンルーム内での加熱：クラス100のクリーンルームでの使用法
もしクラス100のクリーンルームを運用しているなら、その厳しさはご存知でしょう。わずかなほこりや、加熱時に漏れ出る微量のガスでも、製品全体が廃棄処分になってしまいます。
一般的な赤外線ランプでは、このような状況に対応できません。そのコーティングは剥がれやすく、また、最高温度に達すると接着剤からガスが放出されます。これは生産効率にとって大きな障害となります。私たちは、高純度の合成石英や、真空環境下でも問題なく機能する素材を使用しています。
秘密は石英にあります。
私たちは、不純物がほとんど含まれていない融縮シリカを使用しています。なぜかというと、ランプから粒子が飛び散らないようにしたいからです。真空環境では、使用する材料が非常に重要です。通常の安価なランプに含まれている有機系のバインダーや樹脂は排除されています。これにより、奇妙な煙やフィルムの堆積、半導体ウェーハや光学レンズの損傷が防がれます。
真空環境に最適化されている。
私たちのランプは、真空チャンバーの圧力にも耐えられるように設計されています。専用の電極や高品質な石英と金属の封止材を使用して、完全に密閉されています。安価な接着剤は一切使われていません。すべての接続部分は、機械的に固定されているか、熱的に融合されています。
また、デザインもシンプルにしています。ほこりが溜まりやすいような場所はありません。さらに、表面は鏡のように滑らかに研磨されています。これにより、メンテナンス時に清掃が大幅に簡単になります。
注意すべき点がいくつかあります…
高純度の石英を使用することで、クリーンな短波長の赤外線が得られますが、同時に繊細でもあります。まず、絶対に素手でランプに触れないでください。皮膚から出る油分が発熱の原因となり、ランプが壊れる原因になります。また、保護用のコーティングや工業用コーティングが一切ないため、これらのランプは熱衝撃に弱くなっています。急に電源を入れるといけません。ゆっくりと電力を上げていきましょう。
そして、プロのアドバイスとして、高耐温性の配線を使用し、真空ポンプが初期の加熱段階に耐えられる十分な性能を持っているかを確認してください。そうすれば、問題なく使用できます。