
Mengawal Suhu dengan Betul dalam Kilang Pintar
Jika anda sedang membina kilang pintar pada masa kini, anda perlu memikirkan semula cara untuk mengawal suhu. Cara lama sudah tidak lagi sesuai digunakan. Untuk pemprosesan wafer, kita menggunakan sistem inframerah (IR). Sistem ini merupakan cara yang efektif untuk mengumpulkan tenaga haba dan memastikan suhu tetap stabil.
Zon “Goldilocks”
Mengatur Jarak antara pengeluar inframerah dan wafer dengan tepat merupakan satu cabaran. Jika jaraknya terlalu dekat, akan timbul titik-titik panas yang boleh merosakkan wafer dalam masa beberapa saat sahaja. Sebaliknya, jika jaraknya terlalu jauh, tenaga haba akan dibazirkan kerana dinding bilik akan menjadi panas, bukannya wafer itu sendiri.
Kita biasanya menggunakan panjang gelombang untuk menentukan jarak yang sesuai. Gelombang pendek sangat berguna apabila kita memerlukan haba yang cepat menembusi wafer. Gelombang sederhana pula lebih sesuai jika kita ingin permukaan wafer kekal stabil. Semua ini bergantung pada keseimbangan antara kuasa lampu dan jarak tersebut, agar suhu di seluruh permukaan wafer tetap sama.
Berhenti Meramal, Mulakan Pemantauan
Sebenarnya, Industry 4.0 bukanlah tentang alat pemanas itu sendiri, tetapi tentang data. Sistem IR moden boleh disambungkan terus ke rangkaian PLC. Kita menggunakan sistem tertutup di mana alat pengukur suhu memantau permukaan wafer secara real-time dan menyesuaikan kuasa pemanas secara automatik.
Tidak perlu lagi membuat anggaran secara manual. Anda akan mendapat maklumat yang jelas mengenai suhu setiap batch yang diproses. Ini tentunya sangat membantu.
Kompromi yang Perlu Diterima
Sistem IR berkepadatan tinggi memang sangat cepat. Namun, hal ini juga memberikan tekanan yang besar pada sistem penyejukan. Jika sistem penyejukan tidak cukup kuat untuk menghadapi haba yang dihasilkan oleh lampu tersebut, suhu asas wafer akan berubah-ubah.
Saya sentiasa menyarankan agar sistem penyejukan dipilih dengan kapasiti yang lebih tinggi sebanyak 15%. Ini akan memberikan perlindungan tambahan apabila suhu kilang berubah-ubah. Dengan cara ini, segala-galanya dapat dikekalkan dalam keadaan stabil walaupun kilang beroperasi 24/7.