Pemanasan Inframerah Berbanding Udara Panas: Cara Lebih Baik untuk Mengeringkan Wafer MEMS
Jika anda pernah berada di fasiliti pengeluaran MEMS, pasti anda tahu prosesnya. Selepas proses etching atau pembersihan, kelembapan perlu dibuang daripada wafer tersebut. Kebanyakan fasiliti lama masih menggunakan kaedah udara panas untuk tujuan ini. Memang ia berkesan, tetapi prosesnya sangat lambat.
Kini, semakin ramai jurutera beralih kepada kaedah pemanasan inframerah. Mengapa? Kerana mereka sudah bosan menunggu.
Masalah dengan kaedah udara panas
Proses pemanasan menggunakan udara panas merupakan proses yang lambat. Anda perlu memanaskan udara terlebih dahulu, kemudian udara tersebut akan memanaskan ruangan, dan akhirnya memanaskan wafer. Proses ini melibatkan banyak langkah yang memakan masa. Dalam proses pengeluaran berskala besar, kelewatan ini menjadi halangan besar.
Pemanasan inframerah pula mengelakkan semua masalah ini. Tenaga inframerah bertindak secara langsung pada permukaan wafer, tanpa perlu memanaskan ruangan terlebih dahulu. Kami menggunakan penghasil tenaga inframerah berfrekuensi rendah untuk mencapai tujuan ini. Ia membuat molekul air bergetar dengan cepat, sehingga air tersebut bertukar menjadi wap dalam masa beberapa saat sahaja. Anda tidak perlu menunggu lama agar suhu mencapai tahap yang diinginkan. Ini merupakan perbezaan yang besar antara kedua-dua kaedah ini.
Penjimatan ruang
Selain itu, penggunaan sistem pemanasan inframerah dapat menjimatkan ruang yang banyak. Anda tidak perlu menggunakan saluran udara yang besar atau kipas yang berukuran besar. Yang diperlukan hanyalah sumber kuasa yang stabil dan sistem kawalan yang efektif.
Kami biasanya menggunakan kuarsa untuk melindungi sistem ini agar kebersihannya terjaga. Kerana pemindahan tenaga berlaku dengan cepat, wafer boleh dipindahkan menggunakan konveyor. Tidak perlu lagi menunggu kesemua wafer dikeringkan sekaligus.
Kelemahan: Kuasa yang tinggi
Walaupun pemanasan inframerah sangat cepat, ia juga boleh menyebabkan masalah jika digunakan secara tidak betul. Jika penghasil tenaga inframerah tidak diletakkan dengan betul, akan timbul kawasan yang terlalu panas. Ini boleh merosakkan membran MEMS yang tipis atau menyebabkan pola pengeringan yang tidak sekata.
Anda perlu berhati-hati dalam memilih sistem kawalan suhu. Jika sistem kawalan PID tidak berfungsi dengan baik, suhu akan melebihi had yang ditetapkan, dan ini boleh merosakkan komponen sensor.
Pada dasarnya, anda menukar kaedah pemanasan yang perlahan dan lembut dengan kaedah yang lebih cepat dan tepat. Ini merupakan kelebihan yang besar dari segi kelajuan, asalkan anda sentiasa memantau suhu dengan teliti.