Hentikan “hujan kaca” ini: Cara mengatasi masalah pecahnya tiub dalam proses pengeringan wafer
Jika anda mengendalikan lini pengeluaran semikonduktor yang berkapasiti tinggi, anda pasti tahu betapa buruknya keadaan apabila berlaku masalah seperti ini. Lampu inframerah boleh pecah pada bila-bila masa.
Ia bukan sekadar menyebabkan mesin berhenti berfungsi; ia juga menciptakan kekacauan. Apabila tiub kuarsa pecah, serpihan kaca dan bahan halogen akan jatuh terus ke atas wafer tersebut. Dengan sekali pecah saja, seluruh batch wafer akan musnah. Ini merupakan bencana sebenar.
Kami telah menemukan cara untuk mengelakkan perkara ini dengan menggunakan sistem reflektor keselamatan.
Pendekatan menggunakan pelindung
Kebanyakan orang menganggap bahawa reflektor hanya berfungsi untuk memantulkan sinaran inframerah kembali ke arah wafer. Memang benar, tetapi kami menggunakan reflektor tersebut sebagai pelindung fizikal. Dengan melindungi bahagian lampu dengan baik, kita dapat mencegah serpihan kaca daripada masuk ke dalam bilik pengeringan. Ia sangat mudah, tetapi ia dapat melindungi wafer anda.
Suhu, bahan, dan faktor “warping”
Lampu yang berkuasa tinggi akan menjadi sangat panas. Jika bahan reflektor tidak mampu menahan haba tersebut, ia akan bengkok. Apabila ia bengkok, titik fokus lampu akan berubah, lalu menyebabkan kawasan tertentu pada wafer menjadi terlalu panas. Ini bukanlah situasi yang baik.
Bergantung pada panjang gelombang yang diperlukan, kami menggunakan aloi aluminium atau emas yang berkualiti tinggi. Bahan-bahan ini dapat mengekalkan bentuknya walaupun berhadapan dengan suhu yang tinggi.
Satu petua penting: periksa sistem penyejukan. Jika udara tidak beredar dengan baik, haba akan terkumpul di sekitar lampu. Ini akan merosakkan lampu lebih cepat daripada yang sepatutnya.
Bagaimana ia berfungsi di bilik kerja
Kami merancang sistem ini agar ia boleh diganti secara mudah. Anda boleh menukar lampu tanpa perlu menghabiskan masa yang lama untuk menyetel semula laluan cahaya tersebut. Ia sangat mudah digunakan.
Kami juga menghilangkan penggunaan mekanisme geseran. Sebaliknya, kami menggunakan klip mekanikal yang kukuh. Geseran akan menyebabkan tekanan yang besar pada hujung tiub kuarsa, terutamanya apabila berlaku getaran. Ini akan menyebabkan kerosakan pramatang pada tiub tersebut.
Adakah kotak pelindung ini memerlukan ruang yang lebih banyak di dalam mesin? Ya, memang begitu. Namun, itu merupakan harga yang kecil yang harus dibayar untuk memastikan anda tidak perlu membersihkan serpihan kaca dari lini pengeluaran anda lagi.