Di bilik pengeluaran, tiada ruang untuk kesilapan. Perubahan ketebalan lapisan fotoresist sebanyak 2%, atau adanya struktur mikro yang tidak diingini, boleh merosakkan keseluruhan kumpulan wafer tersebut. Langkah pemanasan yang betul – sama ada pemanasan lembut atau keras – sangat penting untuk memastikan kualiti produk yang dihasilkan. Lampu biasa akan menyebabkan berlakunya titik panas, dan ia juga menghasilkan zarah-zarah kecil. Apa yang diperlukan ialah kawalan pada tahap wafer itu sendiri, agar ia memenuhi spesifikasi proses yang ditetapkan, bukan sekadar toleransi yang ditetapkan.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Kami telah mencipta lampu pengering wafer yang mampu mengekalkan suhu yang seragam pada tahap ±0.1°C di seluruh permukaan wafer. Sistem kawalan berputar ini memastikan kebolehulangan proses walaupun dalam keadaan suhu yang ekstrem. Emitter lampu ini sesuai digunakan di bilik bersih, dengan penilaian kelas 1–100. Setelah lampu ini berfungsi dengan stabil, ia tidak akan menghasilkan sebarang zarah. Cahaya inframerah jarak pendek digunakan untuk pemanasan yang cepat tanpa perlu sentuhan fizikal, sehingga mengurangkan kelewatan pemanasan dan mengelakkan tekanan pada lapisan-lapisan yang rapuh. Keluaran tenaga lampu ini tetap stabil dalam lingkungan 2% selama lebih dari 5,000 jam. Lampu ini juga mudah disambungkan ke port standard, dengan voltan, dimensi, dan sambungan yang telah ditetapkan.
Mengapa ia sesuai untuk proses litografi
Dalam proses litografi, lapisan fotoresist memerlukan pemanasan yang tepat untuk menghilangkan bahan pelarut dan meningkatkan ketepatan garis-garis pada permukaan wafer. Selepas itu, pemanasan yang konsisten diperlukan sebelum proses etching dan pelepasan lapisan fotoresist. Dengan lampu ini, suhu dapat dikawal dengan baik di seluruh wafer, sehingga dimensi kritikal tetap memenuhi spesifikasi yang ditetapkan, dan kepadatan kecacatan berkurangan. Selain itu, masa yang diperlukan untuk mencapai suhu yang tepat juga berkurangan, serta penggunaan tenaga juga berkurangan kerana proses penyambungan yang efisien. Para pengendali akan menghadapi masalah yang lebih sedikit, dan kerja penyelenggaraan juga akan menjadi lebih mudah.
Apa yang perlu dirancang
Lampu ini boleh digunakan dengan kebanyakan platform pengeluaran, tetapi integrasinya bergantung pada geometri bilik pengeluaran dan aliran udara. Pastikan kabel yang digunakan sesuai untuk bilik bersih, dan pastikan laluan udara tetap stabil. Untuk mendapatkan suhu yang seragam, pastikan lampu tersebut disusun dengan tepat mengikut spesifikasi yang ditetapkan, dan lakukan kalibrasi menggunakan sensor suhu. Waktu pemanasan mungkin memerlukan sedikit masa, tetapi setelah itu, proses pengeluaran akan berjalan dengan stabil.