에너지 절약형 반도체 히팅
반도체 제조 과정에서의 탄소 배출 감소: 왜 적외선이 최선의 방법인가?
반도체를 제조하는 데에는 엄청난 양의 열이 필요합니다. 솔직히 말해서, 기존의 방식은 매우 낭비적입니다. 대부분의 공장들은 몇 개의 웨이퍼만 가열하기 위해 방 전체를 뜨겁게 만드는 거대한 가열 장...
반도체 히터용 열전대
열 낭비를 멈추세요: 금 코팅된 반사체가 효과적인 이유
반도체 가열 과정에서 낭비되는 1와트의 에너지도 결국은 돈의 낭비에 불과합니다. 더욱 심각한 것은, 그 낭비된 열이 기계에 손상을 줄 수 있거나 공정에 영향을 미칠 수 있다는 점입니다. 그래서 우리는 금 코팅된...
반도체 청정실용 트롤리 히터
왜 반도체 처리용 카트에 적외선 가열 방식을 도입하는가?
반도체 웨이퍼나 기판을 여러 처리 공정 사이로 옮길 때는 온도를 일정하게 유지하는 것이 매우 중요합니다. 오랫동안 우리는 단순히 뜨거운 공기를 이용해 열을 전달해 왔습니다. 하지만 최근에는 클린룸용 카트에 적외...
반도체 히터용 테플론 와이어
반도체 생산 공정이 최대 부하 상태에서 작동할 때 어떤 일이 일어나는지 알아보겠습니다. 상황은 매우 위험합니다. 열이 극한에 이르고, 전체 시스템이 큰 부담을 겪게 됩니다.
그리고 그로 인한 위험성은 매우 큽니다. 단 한 개의 램프가 고장 나면, 그로 인해 웨이퍼에...
중국의 반도체 히터 부품들
서론
웨이퍼 제조 공장의 현실은 이렇습니다. 온도는 매번 정확하게 유지되어야 합니다. 조금의 오차도 허용되지 않습니다.
우리는 바로 이러한 엄격한 요구사항을 충족시키기 위해 반도체 가열 요소를 개발합니다. 핵심은 간단합니다. 프로세스 온도를 0.1°C라는 매우 낮은...
CE 인증을 받은 반도체 히터
리소그래피 공정에서는, 포토레지스트를 가열할 때 0.3°C만큼의 온도 변동이 생겨도 그로 인해 회로선의 굵기에 오차가 생기고, 결국 최종 테스트까지 문제가 발생할 수 있습니다. 다시 작업을 반복할 기회는 없습니다. 당사는 이러한 문제를 해결하기 위해 CE 인증을 받은...