진공 챔버용 적외선 히터

진공 챔버를 굳이 가열할 필요는 없습니다. 반도체 처리 작업을 해본 사람이라면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 웨이퍼를 충분히 가열해야 하지만, 진공 챔버 전체를 오븐처럼 만들고 싶지는 않습니다. 일반적인 적외선 램프는 열을 사방으로 퍼뜨리기 때문에 문제가 됩니다. 그...