MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
적외선 가열 vs. 강제 열풍 가열: MEMS 웨이퍼를 더 효과적으로 건조하는 방법
MEMS 제조 공장에서 일해본 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 습식 에칭이나 세척 작업 후에는 웨이퍼에 남아 있는 수분을 반드시 제거해야 합니다. 현재도 많은 공장들이 여전히 강제 열풍...
공장 건조 공정의 에너지 감사
상황이 불안정해질 때도 반도체 제조 공장의 안전을 지키는 방법
솔직히 말해서, 반도체 제조 공장의 건조 과정은 매우 위험한 환경입니다. 주변에는 화학 물질들이 날아다니고 있어서, 그로 인해 공기가 가연성이 되거나 심지어 폭발할 수도 있습니다. 일반적인 적외선 램프를...
도매 웨이퍼 건조 램프
생산 현장에서는 조금이라도 방심할 수 없습니다. 포토레지스트의 두께가 2%만 변해도, 혹은 미세한 결함이 있어도 전체 생산량에 치명적인 영향을 미칠 수 있습니다. 열처리 과정에서의 온도 조절이 바로 제품의 품질을 결정합니다. 일반적인 램프들은 온도가 불균일해지고, 과...