핫플레이트 대용 적외선 히터

리소그래피 공정에서는 ‘소프트 베이크’와 ‘하드 베이크’를 단순한 ‘온도 조절 단계’로 간주해서는 안 됩니다. 이들은 포토레지스트의 특성, 치수의 균일성, 그리고 결국은 생산 효율을 결정하는 중요한 요소입니다. 1°C의 온도 변동이나 과열된 부분, 혹은 손상된 히터에...