E빔 레지스트 구움 히터

리소그래피 라인에서 e-빔 레지스트 베이크 온도 편차가 0.3°C라면 이를 “작은 편차”로 볼 수 없습니다. 이는 선폭 편차를 야기하여 좋은 웨이퍼를 불량품으로 바꾸는 수준입니다. 중요층의 생사 여부가 포토레지스트의 열적 예산에 달려 있을 때, 변동성에 대한 여지는...