MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

적외선 가열 vs. 강제 열풍 가열: MEMS 웨이퍼를 더 효과적으로 건조하는 방법 MEMS 제조 공장에서 일해본 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 습식 에칭이나 세척 작업 후에는 웨이퍼에 남아 있는 수분을 반드시 제거해야 합니다. 현재도 많은 공장들이 여전히 강제 열풍...