数字式红外干燥机控制器

在洁净室中减少碳排放：关于半导体干燥技术的真相 要去除晶圆上的溶剂和水分，同时又不破坏晶圆本身，实在是一项复杂的任务。长期以来，人们一直采用将晶圆放入大型对流式烤箱中的方法来加热整个房间，只为烘干那一小块硅片。这种做法显然很浪费资源。 因此，采用数字红外控制器就显得非常合理了。因为这种控制器可以直...