真空室红外加热器

停止为真空腔体加热而烦恼吧！ 如果你曾从事过半导体加工工作，那么你一定知道其中的难题。需要将晶圆加热到适当温度，但又不想让整个真空腔体变成一个烤箱。 普通的红外灯存在很大问题——它们会将热量散布到各个方向。大量能量会从晶圆上反射回来，然后击中腔体的内壁。很快，腔体内部就会变得非常热，甚至可能烫伤操...