제어형 대기 오븐 램프

팹에서는 포토레지스트를 건조시키거나 웨이퍼를 말리는 과정에서 온도가 변동하는 것은 단순한 사양 문제가 아닙니다. 이러한 변동은 생산 공정을 망칠 수도 있습니다. 구식 램프들은 설정된 온도를 유지하려 하지만, 주변 환경이 변하면 필름에 스트레스가 가해져 결함이 발생할...