리소그래피 소프트 베이크 히팅 요소

리소그래피 제작 현장에서는 소프트 베이크가 단순한 예열이 아닙니다. 이는 용매 함량을 고정하고 포토레지스트의 접착력을 설정하며 선폭 조절에 직접 영향을 미치는 엄격하게 제어된 열 단계입니다. 반도체 제조에서 반도체 웨이퍼의 특성이 중요하기 때문에, 0.5도 드리프가...