쿼츠 할로겐 적외선 방출기

300mm 라인에서는 소프트 베이크에서 대충 넘어갈 수 없다. 프로파일의 2°C 차이만으로도 치수공정 제어(CD)가 나노미터 단위로 이동할 수 있다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 ±0.1°C를 유지하지 못하는 열원이나, 입자 발생으로 인해 계획에 없던 예방 유지보수가 필요하면...