AFM(원자력 현미경) 히터

Role 공장 현장에서 AFM 계측은 열 변위로 인해 해상도가 손실되면 제대로 작동하지 않습니다. 0.5°C의 온도 변화만으로도 프로브 보정이 틀어질 수 있으며, 포토레지스트 베이크 이력은 치수 균일성에 큰 영향을 미칠 수 있습니다. 우리는 웨이퍼 수준의 온도를 엄격...