왜 반도체 처리용 카트에 적외선 가열 방식을 도입하는가? 반도체 웨이퍼나 기판을 여러 처리 공정 사이로 옮길 때는 온도를 일정하게 유지하는 것이 매우 중요합니다. 오랫동안 우리는 단순히 뜨거운 공기를 이용해 열을 전달해 왔습니다. 하지만 최근에는 클린룸용 카트에 적외...

만약 반도체 청정실용 오븐을 설계하는 일을 해본 적이 있다면, “과도한 열”이라는 문제가 얼마나 골칫거리인지 잘 알 것입니다. 이는 매우 흔한 문제입니다. 대류식 난방을 사용하여 공기를 따뜻하게 하지만, 그 공기는 원하는 곳에 머물러 있지 않습니다. 공기는 주변의 모...

스마트 팩토리에서 효과적인 가열 방식 스마트 팩토리를 계획할 때, 단순히 뜨거운 공기를 주변에 불어넣는 기존의 가열 방식은 더 이상 효과적이지 않다는 것을 알게 될 것입니다. 클린룸에서는 공기의 흐름이 문제가 되므로, 입자들이 마구 움직이는 것을 막아야 합니다. 그래...