अपने वेफरों पर ऊष्मा की बर्बादी रोकें
जब आप वेफरों को संसाधित कर रहे होते हैं, तो हर एक व्यर्थ खर्च हुआ वाट, वास्तव में पैसों की बर्बादी ही है। इससे भी बुरी बात यह है कि ऐसी बर्बाद हुई ऊर्जा के कारण वेफरों पर ऊष्मा असमान रूप से वितरित होती है, जिससे उत्पादन प्रक्रिया में समस्याएँ आती हैं।
इसीलिए हम सोने से ढके गए आईआर परावर्तकों का उपयोग करते हैं। इसका उद्देश्य सरल है – यह सुनिश्चित करना कि ऊष्मा सीधे वेफर पर ही पड़े, न कि मशीन के ढाँचे में ही चली जाए।
सोना क्यों?
आप शायद सामान्य एल्यूमीनियम परावर्तकों का उपयोग करने के आदी होंगे, लेकिन वे बहुत अधिक ऊर्जा को अपने अंदर सोख लेते हैं। हम सटीकता हेतु सोने की परतों का उपयोग करते हैं; क्योंकि सोना इन्फ्रारेड किरणों को वापस उत्सर्जित करने में बेहतर है।
यह मशीन को आकर्षक बनाने के लिए नहीं, बल्कि भौतिकी के नियमों के कारण ही किया गया है। सोना इन्फ्रारेड किरणों को लगभग बिना किसी हानि के वापस उत्सर्जित करता है, जिससे ऊष्मा अधिक केंद्रित रूप से वेफर पर पड़ती है।
प्रति वाट अधिक ऊष्मा प्राप्त करना
यही वास्तविक लाभ है – हर वाट से आपको अधिक ऊष्मा प्राप्त होती है।
सोने से ढके गए परावर्तकों के उपयोग से वेफर पर ऊष्मा का घनत्व बढ़ जाता है। इससे आप अपने लक्षित तापमान तक जल्दी ही पहुँच सकते हैं। आप बिजली की लागत कम करने हेतु बिजली की मात्रा कम कर सकते हैं, या फिर अपने कार्यकाल को कम करके एक ही दिन में अधिक काम कर सकते हैं।
लेकिन एक समस्या है… चूँकि सोना ऊष्मा को बहुत ही प्रभावी ढंग से केंद्रित करता है, इसलिए आपको सावधान रहना होगा। आपके PID नियंत्रकों को बिल्कुल सटीक होना आवश्यक है। यदि आपके सेंसर धीमे काम करते हैं, तो आपका तापमान नियंत्रण खराब हो सकता है, जिससे वेफर नष्ट हो सकता है।
इन परावर्तकों का उपयोग कैसे करें?
अच्छी बात यह है कि ये परावर्तक, आपके सामान्य आईआर परावर्तकों का ही विकल्प हैं। हमने इन परावर्तकों की ज्यामिति पर बहुत मेहनत की है, ताकि ऊष्मा पूरे वेफर पर समान रूप से वितरित हो सके।
केवल एक ही बात… इन्हें हमेशा साफ रखें।
वास्तव में, सोने की सतह पर एक भी उंगली का निशान या थोड़ी धूल भी वेफर पर “ठंडे बिंदु” बना सकती है, जिससे वेफर नष्ट हो सकता है। कृपया, केवल अनुमोदित घोलों का ही उपयोग करें… आप तो नहीं चाहेंगे कि परावर्तक से सोना ही निकल जाए।