300mm लाइन पर, सॉफ्ट बेक के दौरान सावधानी बरतना अनिवार्य है। प्रोफ़ाइल में केवल 2°C का विचलन भी क्रिटिकल डाइमेंशन (CD) नियंत्रण को नैनोमीटर स्तर तक...

लिथोग्राफी फ्लोर पर, आप प्रक्रिया जानते हैं। कुछ डिग्री का तापमान परिवर्तन महत्वपूर्ण आयामों को प्रभावित करने के लिए पर्याप्त है और ढेर सारे वेफर्स...