
काँच के टुकड़ों से बचें: वेफर क्यूरिंग प्रक्रिया में होने वाली समस्याओं से निपटना
यदि आप उच्च-लोड वाली सेमीकंडक्टर उत्पादन लाइनों का संचालन कर रहे हैं, तो आपको इस भयावह स्थिति का अंदाजा होगा… इन्फ्रारेड लैंप फट जाता है।
यह सिर्फ मशीन रुकने की समस्या नहीं है… बल्कि यह तो एक बड़ी आपदा है। जब क्वार्ट्ज ट्यूब टूट जाती है, तो काँच के टुकड़े एवं हैलोजन अवशेष वेफरों पर गिर जाते हैं… ऐसी स्थिति में पूरा बैच बर्बाद हो जाता है।
हमने सुरक्षा रिफ्लेक्टर सिस्टम का उपयोग करके इस समस्या का समाधान खोजा।
रिफ्लेक्टरों का उपयोग
अधिकांश लोगों का मानना है कि रिफ्लेक्टरों का उपयोग केवल इन्फ्रारेड विकिरण को वेफरों की ओर वापस भेजने हेतु ही किया जाता है… लेकिन हम इनका उपयोग भौतिक सुरक्षा हेतु भी करते हैं।
लैंप को कवर में ढककर हम एक “सुरक्षा क्षेत्र” बनाते हैं… ऐसी स्थिति में यदि ट्यूब टूट जाती है, तो उसके टुकड़े कवर के अंदर ही रह जाते हैं… वे क्यूरिंग चेंबर में नहीं जा पाते। यह तो बहुत ही सरल तरीका है… लेकिन इससे आपके वेफर सुरक्षित रहते हैं।
ऊष्मा, सामग्री, एवं “वॉर्प” फैक्टर
उच्च-वाटेज वाले लैंप बहुत ही गर्म हो जाते हैं… यदि रिफ्लेक्टर की सामग्री इस ऊष्मा को सहन नहीं कर पाती, तो वह विकृत हो जाती है… ऐसी स्थिति में वेफरों पर गर्म बिंदु बन जाते हैं… यह तो अच्छी बात नहीं है।
आवश्यक तरंगदैर्घ्य के अनुसार, हम उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमीनियम या सोने से बने मिश्रधातुओं का उपयोग करते हैं… ऐसी सामग्रियाँ तीव्र ऊष्मा की स्थिति में भी अपना आकार बनाए रखती हैं।
एक छोटी सी सलाह: अपने कूलिंग ब्लोअरों की जाँच करें… यदि हवा स्थिर रहती है, तो लैंप जल्दी ही खराब हो जाते हैं।
ऑफिस में इसका उपयोग
हमने इसे ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि इसे आसानी से बदला जा सके… आपको पूरे ऑप्टिकल पथ को पुनः संरेखित करने की आवश्यकता ही नहीं है… यह तो बहुत ही सरल है।
हमने घर्षण से बचने हेतु मजबूत मेकानिकल क्लिपों का उपयोग किया… घर्षण से क्वार्ट्ज ट्यूबों पर बहुत ही दबाव पड़ता है… जिससे वे जल्दी ही खराब हो जाती हैं।
क्या कवर के कारण मशीन में थोड़ी जगह खाली हो जाती है? हाँ… लेकिन यह तो एक छोटी सी कीमत है… ताकि आपको अपनी उत्पादन लाइन से काँच के टुकड़ों को साफ करने की आवश्यकता ही न पड़े।