स्मार्ट फैब में उचित तापमान प्राप्त करना
यदि आप आज कोई “स्मार्ट फैब” बना रहे हैं, तो आपको तापमान को नियंत्रित करने की विधियों पर पुनर्विचार करना होगा। पुरानी विधियाँ अब काम नहीं करतीं। वेफरों के प्रसंस्करण हेतु हम इन्फ्रारेड (IR) प्रणालियों का उपयोग कर रहे हैं। ये प्रणालियाँ ही ऊष्मा ऊर्जा को संग्रहीत करने एवं तापमान को सटीक रूप से नियंत्रित करने में मदद करती हैं।
“गोल्डिलॉक्स” जोन
इन्फ्रारेड उत्सर्जक एवं वेफर के बीच की दूरी को सही रखना एक कला है। यदि इन उत्सर्जकों को बहुत निकट रखा जाए, तो तापमान में अत्यधिक वृद्धि हो जाएगी; ऐसी स्थिति में वेफर खराब हो सकता है। लेकिन यदि इन उत्सर्जकों को बहुत दूर रखा जाए, तो ऊर्जा बर्बाद हो जाएगी। हम आमतौर पर तरंगदैर्घ्य को ध्यान में रखकर ही इसे नियंत्रित करते हैं। यदि तेज़ गति से ऊष्मा पहुँचानी है, तो छोटी तरंगदैर्घ्य उपयुक्त है; यदि सतह को स्थिर रखना है, तो मध्यम तरंगदैर्घ्य बेहतर है। तापमान को सभी ओर समान रखने हेतु लैंप की शक्ति एवं दूरी का संतुलन आवश्यक है।
अनुमान लगाना बंद करें, ट्रैकिंग शुरू करें
वास्तव में, इंडस्ट्री 4.0 में तापन उपकरणों का कोई महत्व नहीं है… महत्व तो डेटा का है। आधुनिक IR प्रणालियाँ PLC नेटवर्कों से जुड़ जाती हैं। हम ऐसी बंद-लूप प्रणालियों का उपयोग करते हैं, जिसमें पायरोमीटर वेफर की सतह की निगरानी करते हैं, एवं आवश्यकतानुसार ऊर्जा को समायोजित करते हैं। अब मैन्युअल समायोजन की कोई आवश्यकता नहीं है… अब आपको हर बैच के लिए स्पष्ट तापमान-मान प्राप्त हो जाते हैं। यह वाकई बड़ी राहत है।
समझौता
उच्च-घनत्व वाले IR उत्सर्जक बहुत तेज़ होते हैं… और यह उच्च उत्पादन लक्ष्यों हेतु बेहतरीन है। लेकिन इसका एक नुकसान भी है… इतनी अधिक ऊष्मा के कारण शीतलन प्रणाली पर बहुत दबाव पड़ता है। यदि आपकी शीतलन प्रणाली इतनी मजबूत न हो, तो तापमान में अस्थिरता आ जाएगी। मैं हमेशा शीतलन प्रणाली को 15% अधिक शक्तिशाली बनाने की सलाह देता हूँ… ऐसा करने से तापमान में अस्थिरता की स्थिति में भी स्थिरता बनी रहती है।