लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” को केवल “तापमान संबंधी चरण” ही नहीं माना जाता। वास्तव में, ये ही वे कारक हैं जो फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता, आवश्यक आयामों की एकरूपता, एवं अंततः उत्पादन की गुणवत्ता को निर्धारित करते हैं। 1°C का तापमान-परिवर्तन, किसी हिस्से में अत्यधिक तापमान, या हीटर से निकलने वाले कण, उत्पादन प्रक्रिया में समस्याओं का कारण बन सकते हैं। हमने ऐसे इन्फ्रारेड हीटर विकसित किए हैं, जो नियंत्रित तापमान-नियंत्रण के माध्यम से ऐसे जोखिमों को कम करते हैं।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमारे नियर-इन्फ्रारेड एमिटर, तेज़ी से गर्मी पैदा करते हैं; इससे वेफर पर गर्मी समान रूप से फैलती है – लगभग ±0.1°C की एकरूपता के साथ। यह डिज़ाइन क्वार्ट्ज-रहित है, इसलिए इससे कम आणविक संदूषण होता है, एवं कोई कण भी नहीं निकलता। इससे क्लीनरूम में कणों की संख्या क्लास 1–100 में ही रहती है। 24 घंटों में तापमान में ±0.3°C की ही व्यवस्थितता रहती है; इससे फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता सभी बैचों में समान रहती है। ये हीटर मानक हॉट-प्लेट फिक्सचरों में भी काम करते हैं, एवं मौजूदा तापमान-नियंत्रण प्रणालियों के साथ भी काम करते हैं।
वास्तविक उत्पादन प्रक्रिया में इनका क्या लाभ है?
“सॉफ्ट बेक” में, विलायकों को नियंत्रित तरीके से हटाया जाता है; इससे अवशिष्ट तनाव कम होता है, एवं फोटोरेजिस्ट की चिपकने की क्षमता बेहतर होती है। “हार्ड बेक” में, तापमान सटीक रूप से नियंत्रित रहता है; इससे रीफ्लो दोषों से बचा जा सकता है, एवं साफ़ एटचिंग/इम्प्लांटेशन प्रक्रियाएँ संभव होती हैं। तेज़ तापमान-प्रतिक्रिया के कारण उत्पादन समय कम हो जाता है; एवं कम ऊर्जा-खपत के कारण रैम्प-अप एवं इडल स्थितियों में भी ऊर्जा-खपत कम रहती है। इससे उत्पादन प्रक्रिया स्थिर रहती है, पुनर्कार्य की आवश्यकता कम होती है, एवं रखरखाव की आवश्यकताएँ भी कम हो जाती हैं।
कुछ बातें जिन पर ध्यान देना आवश्यक है…
इन्फ्रारेड हीटरों के लिए प्लेट-स्टैक में एलाइनमेंट एवं एमिसिविटी में अंतर बहुत महत्वपूर्ण है। स्थापना के दौरान, तापमान-सेंसर की स्थिति को कैलिब्रेट करना आवश्यक है, एवं इन्फ्रारेड विंडो की सफाई भी आवश्यक है – अन्यथा तापमान-नियंत्रण प्रणाली प्रभावित हो सकती है। हीटर बदलने के बाद, कैलिब्रेटेड थर्मोकपल वेफर या समान थर्मल मॉनिटर का उपयोग करके फिर से तापमान-नियंत्रण प्रणाली की जाँच करना आवश्यक है।