फैब फ्लोर पर, आपको पता ही है कि स्थितियाँ कैसी होती हैं। अगर तापमान में आधा डिग्री भी बदलाव हो जाए, तो इससे उत्पादन प्रक्रिया पर प्रभाव पड़ सकता है। अगर तापमान नियंत्रित न किया जाए, तो समस्याएँ ही होंगी। ऊष्मा-प्रतिक्रिया कोई “वैकल्पिक” विशेषता नहीं है… यह तो एक आवश्यक शर्त है।
हमने ऐसे इन्फ्रारेड हीटर बनाए हैं, जो ऐसी परिस्थितियों में भी कार्य कर सकें… ऐसे हीटर जो तेजी से ऊष्मा प्रदान कर सकें, ताकि वेफर, फोटोरेसिस्ट आदि को इंतजार न करना पड़े।
इन हीटरों का मुख्य घटक है शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटर… हैलोजन से भरा हुआ, क्वार्ट्ज से बना… जो तेजी से ऊष्मा प्रदान कर सकता है। ऐसे हीटरों में तापमान कुछ ही सेकंडों में ही स्थिर हो जाता है… इसलिए तापमान नियंत्रण में कोई समस्या नहीं होती। वेफर के स्तर पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है… और 5,000 घंटों तक आउटपुट स्थिर ही रहता है… कम से कम 5% की कमी ही होती है। ऐसे हीटरों के कारण क्लास 1–100 जैसे वातावरण में कोई समस्या नहीं होती।
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, ऐसे हीटरों से ऊष्मा-नियंत्रण बेहतर हो जाता है… पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है… और लाइन-विड्थ भी स्थिर रहती है। तेजी से ऊष्मा प्रदान करने से प्रक्रिया में लगने वाला समय कम हो जाता है… ऊर्जा-खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि ऊष्मा केवल आवश्यकता के अनुसार ही प्रदान की जाती है… न कि लाइन निष्क्रिय रहने के दौरान।
ऐसे हीटरों को सामान्य फिक्सचरों में ही लगाया जा सकता है… और इनका स्पेक्ट्रल आउटपुट भी सामान्य फोटोरेसिस्टों के अनुरूप ही होता है… इससे ऊष्मा-तनाव कम हो जाता है… और अवशेषों का जोखिम भी कम हो जाता है।
इन हीटरों की स्थापना आसान ही है… लेकिन सही तरीके से संरेखण करना आवश्यक है… फोकल दूरी एवं रिफ्लेक्टर की ज्यामिति की जाँच जरूर करें… अगर ये ठीक न हों, तो तापमान-नियंत्रण प्रभावित हो जाता है… और हीटर का जीवनकाल भी कम हो जाता है। उच्च सतह-तापमान को ध्यान में रखकर ही हीटरों का उपयोग करें… उचित सुरक्षा उपाय भी आवश्यक हैं। ड्राइवर को हीटर के इम्पीडेंस के अनुरूप ही चुनें… एवं फिलामेंट की सुरक्षा हेतु “सॉफ्ट स्टार्ट” विधि का उपयोग करें।
हीटर को एक “कैलिब्रेटेड थर्मल एक्चुएटर” के रूप में ही व्यवहार करें… तभी ही आपकी प्रक्रिया हमेशा नियंत्रण में ही रहेगी।