लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में 0.3°C का भी अंतर, उत्पादन प्रक्रिया में त्रुटियों का कारण बन सकता है… ऐसी स्थिति में दोबारा प्रक्रिया शुरू करने का कोई विकल्प ही नहीं होता। हमने ऐसा CE-प्रमाणित सेमीकंडक्टर हीटर विकसित किया है, ताकि प्रक्रिया के दौरान तापमान स्थिर रहे।
क्या महत्वपूर्ण है?
यह उपकरण शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों पर काम करता है, एवं क्वार्ट्ज-आधारित थर्मल पथ के कारण यह तेजी से गर्म होता है एवं जल्दी ही स्थिर हो जाता है। वेफरों पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है… ऐसे में SPC चार्टों में कोई त्रुटि नहीं आती। यह उपकरण क्लास 1–100 के मानकों के अनुरूप है… इसमें कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है… ऐसे में कणों का उत्पादन भी न्यूनतम रहता है। यह उपकरण 24/7 काम करने हेतु डिज़ाइन किया गया है… इसमें सुरक्षा परिपथ एवं मजबूत कनेक्टर भी हैं, जिससे उपकरण लगातार काम कर सकता है।
फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में इसका क्या महत्व है?
“सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” तापमान, CD बायास एवं साइडवॉल प्रोफाइल को निर्धारित करते हैं… यदि ये सही रहें, तो पुनर्प्रक्रिया, अपशिष्ट एवं अन्य समस्याओं से बचा जा सकता है। उच्च एकरूपता एवं तेजी से स्थिर होने के कारण तापीय समय कम हो जाता है… ऐसे में उत्पादन दर भी बनी रहती है। कुशल ऊर्जा उपयोग के कारण ऊर्जा खपत भी कम हो जाती है… ऐसे में प्रक्रिया में कोई बाधा नहीं आती।
क्षेत्रीय वास्तविकताओं को ध्यान में रखना आवश्यक है…
इस उपकरण की स्थापना हवा के प्रवाह एवं समतलता पर निर्भर है… कोई भी अंतर तापीय असमानता का कारण बन सकता है। यह हीटर सेमीकंडक्टर उत्पादन हेतु CE-प्रमाणित है… लेकिन अंतिम स्तर पर इसकी अनुपालन स्थिति आपके एन्क्लोजर, इंटरलॉक्स एवं EMC प्रणालियों पर निर्भर है। वोल्टेज एवं कनेक्टरों की व्यवस्था पहले ही निर्धारित कर लेनी आवश्यक है… क्षेत्रीय परिवर्तनों से त्रुटियाँ उत्पन्न हो सकती हैं।