हॉट प्लेट के स्थान पर इन्फ्रारेड हीटर का उपयोग किया जा सकता है।

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” को केवल “तापमान संबंधी चरण” ही नहीं माना जाता। वास्तव में, ये ही वे कारक हैं जो फोटोरेजिस्ट की...