جلوگیری از هدر رفتن گرما در ویفرها
هنگام پردازش ویفرها، هر وات انرژی هدررفته، در واقع پولی است که بیفایده از بین میرود. حتی بدتر از آن این است که این انرژی هدررفته باعث گرمایش ناهموار میشود؛ که این موضوع میتواند به کاهش کیفیت محصولات منجر شود.
به همین دلیل، از منعکسکنندههای IR با پوشش طلا استفاده میکنیم. هدف ساده است: اطمینان از اینکه گرما واقعاً به ویفر برسد، نه اینکه در بدنه دستگاه هدر برود.
چرا طلا؟
شاید شما به منعکسکنندههای استاندارد آلومینیومی عادت داشته باشید، اما آنها مقدار زیادی انرژی را جذب میکنند. ما از لایههای طلا برای این منظور استفاده میکنیم؛ زیرا طلا در بازتاب نور مادون قرمز عملکرد بهتری دارد.
موضوع فقط ظاهر زیبا بودن دستگاه نیست؛ بلکه مسئله فیزیک است. طلا باعث میشود فوتونهای مادون قرمز تقریباً بدون هیچ اتلافی بازتاب شوند؛ در نتیجه نقطه تمرکز گرما دقیقتر و قویتر خواهد بود.
دریافت گرمای بیشتر از هر وات
مزیت واقعی این روش این است که از هر وات انرژی، گرمای بیشتری به دست میآید.
با استفاده از منعکسکنندههای طلا، تراکم انرژی روی ویفر افزایش مییابد؛ در نتیجه میتوانید دمای مورد نظر را سریعتر به دست آورید. میتوانید میزان انرژی را کاهش دهید تا هزینه برق کمتر شود، یا زمان پردازش را کوتاه کنید تا در یک روز کار بیشتری انجام دهید.
اما یک مشکل وجود دارد: از آنجایی که طلا گرما را به خوبی تمرکز میکند، باید مراقب باشید. کنترلکنندههای PID باید دقیق باشند؛ در غیر این صورت ممکن است دمای ویفر بیش از حد افزایش یابد و ویفر خراب شود.
حفظ عملکرد دستگاه
خبر خوب این است که این منعکسکنندهها در واقع جایگزین مناسبی برای سیستمهای IR استاندارد هستند. ما زمان زیادی را صرف تنظیم الگوی توزیع گرما در سراسر ویفر کردهایم.
فقط یک نکته: آنها را تمیز نگه دارید.
واقعاً، حتی یک اثر انگشت یا کمی گرد و غبار روی سطح طلا میتواند باعث ایجاد «نقطه سرد» روی ویفر شود؛ که این موضوع میتواند به کاهش کیفیت محصولات منجر شود. لطفاً فقط از حلالهای مجاز استفاده کنید؛ نمیخواهید که طلا روی منعکسکننده از بین برود.