دیگر انرژی خود را هدر ندهید: چرا از منعکسکنندههای طلایی استفاده میکنیم؟
بیایید صادق باشیم: هدر دادن انرژی در فرآیند پردازش ویفرها، نشانهای از طراحی ضعیف است.
وقتی از لامپهای مادون قرمز با توان بالا استفاده میکنیم، مقدار زیادی از این گرما به سطح ویفر منتقل نمیشود؛ بلکه به سمت کنارهها یا به عقب پرتاب میشود و هوای محیط را گرم میکند، نه محصول شما. اینجاست که نقش منعکسکنندههای طلایی مهم میشود.
ما از لایه طلا برای منعکس کردن انرژی مادون قرمز استفاده میکنیم؛ زیرا این لایه بهترین عملکرد را در این زمینه دارد. در واقع، این لایه مانند یک آینه عمل کرده و تقریباً تمام انرژی را مستقیماً به سمت ویفر هدایت میکند.
نکته مهم این است که جهت انتقال انرژی بسیار مهم است.
لامپهای کوارتز معمولی، گرما را در همه جا پخش میکنند؛ اما با استفاده از منعکسکنندههای طلایی، این وضعیت تغییر میکند. از آنجایی که طلا بیش از ۹۸ درصد از انرژی مادون قرمز را منعکس میکند، یک منطقه گرمایی متمرکز ایجاد میشود.
بهترین نکته این است که شما میتوانید گرمای بیشتری روی ویفر ایجاد کنید، بدون اینکه نیاز به استفاده از توان بیشتری داشته باشید. شما در واقع انرژی موجود را در جهت صحیح هدایت میکنید.
چند نکته مهم برای در نظر گرفتن:
ما این منعکسکنندهها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند در شرایط سخت حرارتی مقاومت کنند. لایه طلا نازک است، اما به خوبی به سطح ویفر متصل شده است؛ بنابراین در طول چرخههای حرارتی شدید، از بین نخواهد رفت. متوجه خواهید شد که زمان رسیدن به دمای مورد نظر، بسیار کمتر خواهد بود.
اما نکته مهم این است که از آنجایی که انتقال انرژی بسیار قوی است، باید مراقب باشید. اگر سیستم کنترل دما کمی کند عمل کند، ممکن است دمای ویفر از حد مورد نظر بالاتر رود. بنابراین باید حسگرها را به خوبی تنظیم کنید. لطفاً این منعکسکنندهها را بدون بررسی سیستم خنککننده، در دستگاههایی با ویژگیهای ضعیف استفاده نکنید؛ زیرا دمای دستگاه بسیار بالا خواهد رفت.
فواید استفاده از منعکسکنندههای طلایی:
وقتی از منعکسکنندههای طلایی استفاده میکنید، نیازی به استفاده از تعداد بیشتری لامپ برای رسیدن به دمای مورد نظر نخواهد بود. این امر باعث میشود که فضای لازم برای نصب دستگاه کاهش یابد. علاوه بر این، سیستم تهویه مطبوع نیز نیاز کمتری به کار کردن برای خنک کردن اتاق خواهد داشت.
ما این منعکسکنندهها را به عنوان جایگزینی برای دستگاههای موجود طراحی کردهایم تا بتوانید زمان فرآیندهای پردازش را کاهش دهید. شما میتوانید یک پروفایل حرارتی پایدارتری در سراسر ویفر داشته باشید، و این کار را با استفاده از انرژی کمتری انجام دهید. این کار کاملاً منطقی است.