光刻软烘加热元件

在光刻车间，软烘焙不仅仅是一个预热步骤。它是一个严格控制的热处理步骤，锁定溶剂含量，设定光刻胶粘附性，并直接影响线宽控制。半度的漂移可能会影响TMU，热点可能会在晶圆上形成重复缺陷。我们设计了加热元件，以消除热预算中的不确定性。 在实际操作中，重要的是在设备运行时能够依赖的性能。加热器迅速稳定，保...