标签为“制造;生产”的页面如下 可持续的制造解决方案 清理半导体制造厂:为何要转向红外线加热技术 如果真想减少半导体制造过程中的碳排放,那就不能再依赖那些传统的电阻式加热器了。因为它们的效率实在不高。我们开始采用红外线加热技术,因为这种技术能够精准地加热晶圆上需要加热的部位,而不会浪费能量去加热整个腔室。 这虽然只是一个小小的改变,但却能显著降低每块... Read more...
可持续的制造解决方案 清理半导体制造厂:为何要转向红外线加热技术 如果真想减少半导体制造过程中的碳排放,那就不能再依赖那些传统的电阻式加热器了。因为它们的效率实在不高。我们开始采用红外线加热技术,因为这种技术能够精准地加热晶圆上需要加热的部位,而不会浪费能量去加热整个腔室。 这虽然只是一个小小的改变,但却能显著降低每块... Read more...