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에너지 효율적인 웨이퍼 가열기

에너지 효율적인 웨이퍼 가열기

왜 웨이퍼 처리에 적외선 경화 방식이 효과적인가? 만약 반도체 공장에서 일해본 적이 있다면, 대류식 오븐의 단점을 잘 알고 있을 것입니다. 그것은 사실상 거대한 상자로, 웨이퍼를 적절한 온도로 만들기 위해 공기의 모든 부분을 가열해야 합니다. 이는 엄청난 에너지 낭비...
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