팹용 적외선 가열 모듈

제조 공정에서의 가열 단계는 단순한 예비 작업이 아닙니다. 이는 성공과 실패를 좌우하는 매우 중요한 과정입니다. 웨이퍼의 온도가 반도 정도만 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 라인 너비 제어도 엉망이 될 수 있습니다. 따라서 신뢰할 수 있는 열원이 필요하며,...