בתהליך הליתוגרפיה, אין לראות בשלבי החימום השונים רק “שלבי טמפרטורה”. למעשה, אלו הם הגורמים שקובעים את תכונות הפוטורזיסט, את אחידות הממדים של החומר, ובסופו של דבר – את היעילות של התהליך. שינוי של 1 מעלה צלזיוס, או נקודה חמה, או חלקיקים שנפלטים מהחיממים, יכולים לגרום לבעיות כמו לכלוך, שינוי ברוחב הקווים, וכן לבעיות שלא ניתן לגלות בבדיקות הרגילות. פיתחנו חיממים חלופיים באמצעות קרינה אינפרא-אדומה, כדי למנוע סיכונים אלו באמצעות שליטה תרמית מדויקת.
מהחשוב מבחינה טכנית הגופים הפולטים קרינה אינפרא-אדומה שלנו מחממים במהירות, כאשר החימום מתבצע באופן אחיד על פני כל שטח הוואפר – בדיוק של ±0.1 מעלה צלזיוס. העיצוב שלהם אינו כולל קוורץ, והם פולטים מעט מאוד חומרים, כך שאין זיהום מולקולרי ואין פליטת חלקיקים. כתוצאה מכך, רמת החלקיקים בחדר הנקי נשארת יציבה ברמות 1–100. הדיוק בין ערכי הטמפרטורה השונים הוא ±0.3 מעלה צלזיוס לאורך 24 שעות, כך שתכונות הפוטורזיסט נשארות קבועות לאורך זמן. גוף החימם ניתן להתקנה במערכות החימום הקיימות, והוא פועל בשיתוף עם מערכות הבקרה על הטמפרטורה הקיימות, בלי צורך בבדיקות נוספות.
למה זה עובד בתהליך האמיתי בשלב החימום הרגוע, ניתן לבצע הסרה מבוקרת וחוזרת של החומרים המסיסים – כך שיש פחות מתחים וההידבקות של החומרים לוואפר טובה יותר. בשלב החימום האינטנסיבי, הטמפרטורה נשלטת בצורה מדויקת, כך שניתן למנוע פגמים ולשמור על איכות החיתוך וההשתלה. התגובה התרמית המהירה מקצרת את זמן התהליך, מבלי לגרום לעלייה יתרה בטמפרטורה. העיצוב הקל של החיממים מפחית את צריכת האנרגיה בזמן ההפעלה ובזמן ההמתנה. התוצאה היא תהליך יציב, פחות צורך בתיקונים, ואפשרות לתכנון מראש של מועדי התחזוקה.
כמה דברים שצריך לשים לב אליהם חיממים חלופיים באמצעות קרינה אינפרא-אדומה דורשים תיאום מדויק בין החלקים השונים של המערכת. במהלך ההתקנה, יש צורך לכייל את מיקום חיישן הטמפרטורה ולוודא שהחלון האינפרא-אדום נקי – אחרת עלולה להיות סטייה בערכי הטמפרטורה. יש לבצע בדיקות נוספות לאחר ההתקנה, באמצעות וואפר עם תרמוקפל או מכשיר מעקב תרמי דומה.