החלפת המשטח החם במחמם אינפרא אדום

בתהליך הליתוגרפיה, אין לראות בשלבי החימום השונים רק “שלבי טמפרטורה”. למעשה, אלו הם הגורמים שקובעים את תכונות הפוטורזיסט, את אחידות הממדים של החומר,...