בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.3°C בטמפרטורת החימום של הפוטורזיסט יכול לגרום לסטיות בעובי הקווים שנוצרים, מה שעלול לגרום לבעיות בשלב הבדיקות הסופיות. אין אפשרות לעשות זאת שוב. פיתחנו גוף חימום שעומד בתקני CE, כדי לשמור על תנאים תרמיים קבועים במהלך כל שלבי הייצור.
מה חשוב באמת? הגוף חימום פועל באמצעות חומרי אינפרא-אדום בגלי אורך קצר, ובאמצעות מסלול חימום המבוסס על קוורץ. כך הוא מסוגל לחמם את החומרים במהירות ולשמור על טמפרטורה קבועה. באזור החימום, האחידות בטמפרטורה נשמרת ברמה של ±0.1°C, והחזרה למצב קבוע קורית במהירות. הגוף חימום עומד בתקני חדרי ניקיון מדרגה 1–100, ומשתמש בחומרים שאינם פולטים גזים, כך שנשמרת רמת חלקיקים נמוכה. העיצוב מיועד לפעולה 24/7, עם מעגלי הגנה וחיבורים איכותיים ששומרים על יציבות הפעולה.
למה זה חשוב בתהליך עיבוד הפוטורזיסט? טמפרטורות החימום קובעות את התכונות של החומרים שנעשה בהם שימוש. אם הטמפרטורות נקבעות נכון, ניתן להימנע מעבודה חוזרת, מבזבוז חומרים ומבעיות אחרות. האחידות הגבוהה והחימום המהיר מקצרים את זמן החימום, כך שניתן לשמור על קצב ייצור גבוה, מבלי לפגוע באיכות המוצר. החימום היעיל מפחית את צריכת האנרגיה ומונע סטיות בטמפרטורה. כך נשמרת תכונה תרמית קבועה, שתואמת את תהליך הייצור.
שיקולים לפני ההתקנה ההתקנה תלויה בזרימת האוויר ובשטח היציב שעליו הגוף חימום יותקן – כל פער יגרום לאי-אחידות תרמית. הגוף חימום עומד בתקני CE, אך ההתאמה הסופית תלויה במעטפת שלו, במנגנוני הבקרה ובשיטות EMC. יש לקבוע מראש את המתח ואת כיוון החיבורים; שינויים בשטח ההתקנה עלולים לגרום לשינויים בתכונות הגוף חימום.