מחמם מיקרוסקופ כוח אטומי (AFM)

במפעל הייצור, מדידות AFM עלולות להיכשל כאשר תזוזת חום פוגעת ברזולוציה. סטייה של 0.5°C מספיקה כדי לחרוג מכיול הגלאי, והיסטוריית אפיית הפוטורזיסט עלולה...