در فرآیندهای حرارتی، میدانید که حتی تغییر جزئی در دما، میتواند باعث تغییر ابعاد مهم محصول شود. اگر فرآیند حرارتی به آهستگی انجام شود، نتیجه خوبی حاصل نخواهد شد. پس، پاسخگویی سریع به تغییرات دما، یک الزام ضروری است.
ما لامپهای گرمایشی مادون قرمز با پاسخگویی سریع را طراحی کردیم؛ این لامپها میتوانند گرمای مورد نیاز را در زمان کوتاهی تأمین کنند، در حالی که ویفر، فوتورزیست و سایر مواد مورد استفاده، فرصتی برای انتظار ندارند.
هسته اصلی این لامپها، یک ساطعکننده مادون قرمز با امواج کوتاه است؛ این ساطعکننده حاوی هالوژن بوده و درون غلاف کوارتزی قرار دارد. این لامپها در عرض چند ثانیه به حالت تعادل میرسند؛ بنابراین دما به خوبی کنترل میشود. یکنواختی دما در سطح ویفر، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین، خروجی گرمایی این لامپها برای بیش از ۵۰۰۰ ساعت، با کاهش کمتر از ۵٪، پایدار باقی میماند. طراحی این لامپها به گونهای است که هیچ ذرهای در آنها وجود نداشته باشد؛ بنابراین محیط کاری در سطح کلاس ۱-۱۰۰ حفظ میشود.
در فرآیندهای لیتوگرافی، این امر به معنای کنترل دقیقتر دما در فرآیندهای حرارتی است؛ همچنین، تعداد موارد تکرار فرآیند کاهش مییابد. سرعت بالاتر فرآیند حرارتی، زمان لازم برای انجام کار را کاهش میدهد، بدون اینکه کیفیت فرآیند تحت تأثیر قرار گیرد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا گرما در زمان لازم تأمین میشود، و لامپ در حالت تعطیل نمیماند.
این لامپها را میتوان در تجهیزات استاندارد نصب کرد؛ خروجی طیفی این لامپها نیز مطابق با آنچه که فوتورزیستها جذب میکنند، است؛ بنابراین تنش حرارتی کاهش مییابد و خطر باقی ماندن ذرات نیز کمتر میشود.
نصب این لامپها ساده است؛ اما مهمترین موضوع، تنظیم صحیح فاصله کانونی و جهتگیری لامپ است؛ اگر این موارد درست نباشند، یکنواختی دما کاهش مییابد و عمر لامپ نیز کوتاهتر میشود. برای کنترل دمای سطحی، باید از سیستمهای محافظتی مناسب استفاده کرد؛ همچنین، باید از روش شروع ملایم برای محافظت از فیلامنت لامپ استفاده کرد.
باید این لامپها را مانند یک ابزار کنترل حرارتی در نظر گرفت؛ در این صورت، فرآیند حرارتی شما در هر شیفت، در محدوده استانداردها باقی خواهد ماند.