در کف لیتوگرافی، شما از روند کار اطلاع دارید. نوسانات دما به اندازه چند درجه کافی است تا ابعاد بحرانی را تغییر دهد و تعداد زیادی از ویفرها را به ضایعات تبدیل کند. نرمپخت و سختپخت تنها “مراحل حرارتی” نیستند. این مراحل جایی هستند که شما حذف حلال را قفل میکنید، تنش فیلم را مدیریت میکنید و بودجه حرارتی را تعیین میکنید که باید در فرآیندهای آتی اچ و رسوب باقی بماند. وقتی پروفیل پخت دچار انحراف میشود، شما با مشکلات رسوب، چسبندگی و زبری لبه خط مواجه میشوید. آنچه واقعاً زیر سطح مهم است ما از لامپ تابش نزدیک مادون قرمز (NIR) استفاده میکنیم که حرارت تابشی سریع و مستقیم را با کنترل حرارتی دقیق فراهم میکند. طیف به گونهای تنظیم شده است که به طور مؤثر توسط لایه فوتورزست جذب شود، بنابراین گرمایش زیرلایه را به حداقل میرسانید و پاسخ سریعتری دریافت میکنید. در سراسر ویفر، ما یکنواختی ±0.1°C را حفظ میکنیم، بنابراین هر چیپ شرایط پخت یکسانی را تجربه میکند. سازگاری با اتاق پاک به طور مهندسی طراحی شده است: عملیات کلاس 1–100 با تولید صفر ذره، حمایت شده توسط اجزای کوارتز با خروجی کم و اتصالات مهر و موم شده. این تابشکننده به صورت ۲۴ ساعته و ۷ روز هفته با خروجی پایدار کار میکند، و ما تکرارپذیری را بر روی همان واحد در بیش از ۵۰۰۰ ساعت با کاهش شدت کمتر از ۵% پیگیری میکنیم. چرا این رویکرد در عمل قابل قبول است در نرمپخت، پروفیل NIR حلالها را به سرعت خارج میکند بدون اینکه فیلم را پوست کند، که این امر نیاز به کار مجدد را کاهش میدهد و کنترل ابعاد بحرانی را بهبود میبخشد. در سختپخت، دمای ثابت از ایجاد نوتچینگ بازتابی جلوگیری میکند و چسبندگی بهتری را در فرآیند اچ فراهم میسازد. نتیجه این است که تعداد ضایعات کمتر، پنجرههای فرآیند پایدار و زمان کارکرد قابل پیشبینی تجهیزات را به همراه دارد. شما همچنین در مصرف انرژی صرفهجویی میکنید زیرا حرارت تابشی به طور مستقیم به رزین هدفگیری میشود، و پاسخ حرارتی سریع زمان پخت را بدون به خطر انداختن یکپارچگی پروفیل کوتاه میکند. جزئیات عملی که باید درست انجام دهید تابشکنندههای NIR به هندسه نصب و خط دید به ویفر حساس هستند. شما یکنواختی بیشتری خواهید داشت زمانی که آرایه مطابق با مشخصات ابزار همراستا و فاصلهگذاری شده باشد. در طی ادغام اولیه، ممکن است نیاز داشته باشید تا دستور پخت را مجدداً تنظیم کنید تا با شیب حرارتی تندتر مطابقت داشته باشد. کار در اتاقهای پاک با رطوبت پایین به معنی توجه بیشتر به کنترل استاتیک هنگام کار با لامپ است. با فاصله مشخص نصب کنید و آن را در محدوده ولتاژ مشخص شده راهاندازی کنید، و تابشکننده عملکرد پخت پایدار و تکرارپذیری را ارائه میدهد که فرآیند را تحت کنترل نگه میدارد.