در خط تولید، مرحله گرم کردن واقعاً یک فرآیند گرمسازی ساده نیست؛ بلکه یک مرحله حیاتی برای تولید محصول با کیفیت است. حتی اختلاف دمایی نیم درجهای در سطح ویفر، میتواند باعث اختلال در ابعاد مهم واقعی واقع شود و کنترل عرض خطوط روی ویفر را مختل کند. بنابراین، به گرمایی نیاز داریم که قابل پیشبینی باشد، نه گرمایی که نتایج آن نامشخص باشد.
چه چیزهایی در این فرآیند اهمیت دارد؟
ما از ماژولهای گرمایشی مادون قرمز استفاده میکنیم؛ این ماژولها باعث حفظ یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد میشوند. این ماژولها از منابع نوری با واکنش سریع استفاده میکنند تا بتوانند دمای ویفر را به درستی کنترل کنند. طراحی این ماژولها به گونهای است که نیازی به استفاده از کوارتز نباشد؛ همچنین، این ماژولها در اتاقهای تمیز درجه ۱–۱۰۰ قابل استفاده هستند و باعث ایجاد ذرات نامطلوب در محیط تولید نمیشوند. منطقه گرم شده نیز به گونهای طراحی شده است که از ورود گازها و آلودگیها به داخل محفظه تولید جلوگیری کند.
چرا این موضوع در خط تولید اهمیت دارد؟
این ماژولها باعث ایجاد پایداری در فرآیندهای تولید میشوند؛ مثلاً در مراحل لیتوگرافی، یکنواختی دمایی و کیفیت محصول. کنترل دقیق دما، باعث کاهش تفاوتهای دمایی در سطح ویفر و جلوگیری از نیاز به تولید مجدد محصول میشود.
چه چیزهایی باید از قبل در نظر گرفته شود؟
این ماژولها نیاز به یک سیستم الکتریکی پایدار و سیستم خنککننده مناسب دارند؛ همچنین، نیاز به جریان هوای کافی برای حفظ دمای مناسب در سطح ویفر نیز وجود دارد. این ماژولها به راحتی میتوانند در سیستمهای موجود گنجانده شوند؛ اما باید ابعاد آنها و مسیرهای خنککننده را از قبل برنامهریزی کرد. پس از تنظیمات لازم، دمای ویفر در محدوده مشخصی باقی میماند.