در خط تولید، تغییرات دما در حین فرآیند پختن فوتورزیست یا خشک کردن ویفرها، صرفاً مشکلی مربوط به استانداردها نیست؛ بلکه می‌تواند باعث شکست کل فرآیند...

در سطح لیتوگرافی، یک پخت نرم تنها یک گرم کردن نیست. این یک مرحله حرارتی به شدت کنترل‌شده است که محتوای حلال را قفل می‌کند، چسبندگی فوتورزیست را تنظیم...