控制好晶圆清洗流程
说实话，在现代半导体制造过程中，清洗阶段往往是整个流程中最耗时的环节。你得尽快去除晶圆或基片上的水分，但同时又不能让任何污染物进入其中。
这就是为什么我们要使用防水型红外线灯。这类灯具是专门为潮湿的环境设计的，普通灯具在这种环境下根本无法正常工作。它们能以精确的热能来处理问题。
为什么选择短波红外线？
因为短波辐射能够更有效地穿透水层，而长波辐射则做不到这一点。
最棒的是，这种灯具只会加热表面，而不会让整个机器过热。在选购时，要选择那些功率密度高的灯具，这样水一接触到热量就会立刻蒸发，速度非常快。
防止水进入并保持设备正常运行
标准型红外线灯很怕水，一旦水接触到电极，灯具就会损坏。因此，我们会将灯具密封起来，以防止短路和生锈。如果你使用的是智能工厂，这些灯具可以直接连接到PLC控制的电源上。这样一来，你就可以根据传感器检测到的数据来调整热量输出。如果输送带因为某种原因变慢了，你可以立即降低热量输出。这样就不用再担心因为生产线速度问题而导致基片过热的问题了。
现实中的挑战
不过，高密度红外线灯会产生大量热量。虽然防水外壳可以保护灯具，但周围的部件仍会因高温而受损。你需要确保通风和冷却系统能够正常工作。如果气流不足，安装支架就可能会变形。这可不是什么好事。
我们设计的这款灯具可以轻松替代现有的清洗装置。它具有数字控制功能，无需拆掉整个生产线即可实现精确控制。这是一种更简单、更高效的方式来提升生产效率。