Hãy ngừng lãng phí năng lượng đi: Tại sao việc sử dụng tấm chắn bằng thạch anh phủ vàng lại quan trọng đến vậy?
Thành thật mà nói, việc lãng phí năng lượng trong nhà máy sản xuất bán dẫn chẳng khác nào vứt tiền đi một cách vô ích.
Khi bật đèn trong nhà máy, một lượng lớn năng lượng hồng ngoại không thể tiếp xúc được với tấm wafer. Năng lượng này chỉ lan tỏa ra xung quanh, hoặc bị phản xạ trở lại. Điều này gây ra nhiều vấn đề. Chúng ta giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng tấm chắn bằng thạch anh có lớp phủ vàng.
Tại sao lại chọn vàng?
Vàng là chất có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại cực kỳ tốt. Tỷ lệ phản xạ của vàng lên tới hơn 98%. Nhôm hay thép được đánh bóng thì không thể sánh kịp được.
Bằng cách phủ lớp vàng lên tấm chắn, chúng ta có thể giữ lại những năng lượng vốn sẽ bị thoát ra ngoài, và đưa chúng trở lại về phía tấm wafer. Điều này giúp tập trung nhiệt lượng vào tấm wafer. Nhờ đó, chúng ta có thể đạt được nhiệt độ cao trên bề mặt tấm wafer mà không cần tăng điện áp hay sử dụng nhiều đèn hơn.
Nhưng chất liệu thủy tinh cũng rất quan trọng.
Tấm chắn không chỉ có chức năng phản xạ năng lượng; nó còn là lớp bảo vệ đầu tiên chống lại nhiệt độ cao. Chúng ta sử dụng thạch anh chất lượng cao vì nó có khả năng chịu được những thay đổi nhiệt độ extreme mà không bị nứt vỡ.
Thạch anh giá rẻ thì thật tồi tệ. Nó sẽ bị biến dạng dưới áp lực cao, và khi đó việc phân bố nhiệt lượng sẽ bị rối loạn. Thạch anh chất lượng cao thì vẫn giữ nguyên hình dạng, giúp bảo vệ các thành phần bên trong và cho phép ánh sáng có bước sóng phù hợp đi qua.
Một vài lưu ý về nhược điểm của phương pháp này.
Khi tập trung năng lượng một cách hiệu quả như vậy, bạn sẽ phải đối mặt với mật độ nhiệt cao hơn. Vì lớp phủ vàng tập trung nhiệt lượng lên tấm wafer, nên bạn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát của bạn có thể xử lý được lượng nhiệt này. Nếu không, bạn sẽ gặp phải tình trạng nhiệt độ không đồng đều.
Nếu thời gian khởi động bị kéo dài hoặc nhiệt độ không đồng đều, đừng vội nghĩ rằng bạn cần tăng công suất đèn lên. Thường thì vấn đề nằm ở việc năng lượng bị phân tán. Việc chuyển sang sử dụng tấm chắn bằng thạch anh phủ vàng sẽ giúp giải quyết vấn đề này và giúp bạn đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh hơn nhiều.