Trong quy trình sản xuất, sự thay đổi nhiệt độ trong quá trình nung phim cảm quang hoặc sấy wafer không chỉ là vấn đề liên quan đến các thông số kỹ thuật mà còn có thể gây hư hỏng toàn bộ sản phẩm. Các loại đèn cũ thường khó duy trì nhiệt độ ổn định; khi môi trường xung quanh thay đổi, điều này sẽ gây ra những vấn đề như căng giãn lớp phim cảm quang, sự xuất hiện của các hạt bẩn, và những khuyết tật trên bề mặt wafer.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng các loại đèn có khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác, với thành phần phát sáng là halogen/quartz và hệ thống điều khiển nhiệt độ khép kín. Nhờ đó, nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C. Buồng xử lý được giữ ở mức độ sạch tương đương lớp 1–100, và chính bản thân đèn cũng không tạo ra bất kỳ hạt bẩn nào. Độ ổn định của công suất đèn có thể duy trì được trong hơn 5.000 giờ, với sai số nhiệt độ dưới 5%, giúp đảm bảo chất lượng sản phẩm ổn định từ lô này sang lô khác.
Lý do tại sao điều này lại quan trọng trong công nghệ in ăn mòn là vì đèn giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, từ đó giảm thiểu các vấn đề liên quan đến việc hình thành các khối trên bề mặt wafer và lượng dung môi còn sót lại. Trong quá trình làm sạch và sấy wafer, đèn giúp tạo ra nhiệt độ ổn định, giúp rút ngắn thời gian xử lý mà không gây ra tình trạng nhiệt độ quá cao. Trong quá trình đóng gói, đèn giúp duy trì nhiệt độ ổn định, giúp vật liệu bảo vệ wafer không bị biến dạng.
Kết quả là giảm số lần phải làm lại sản phẩm, đảm bảo độ chính xác của thông số kỹ thuật, và nâng cao hiệu suất sản xuất.
Một vài lưu ý thực tế
Các loại đèn này có thể được lắp đặt vào các thiết bị mới hoặc thiết bị đã có sẵn. Tuy nhiên, hệ thống điều khiển môi trường phải được thiết kế sao cho phù hợp với hệ thống dẫn khí và hệ thống thoát khí của thiết bị. Cần lập kế hoạch cho hệ thống điện trong buồng xử lý sao cho phù hợp, đồng thời đảm bảo rằng thiết bị có khả năng chịu được tốc độ thay đổi nhiệt độ. Tuổi thọ của đèn khá cao, nhưng công suất đèn vẫn cần được điều chỉnh định kỳ để đảm bảo độ ổn định của chất lượng sản phẩm.