Ngăn chặn tình trạng vỡ ống quang trong quá trình xử lý wafer
Nếu bạn đang vận hành nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn với công suất cao, bạn chắc hẳn đã từng gặp phải tình huống khủng khiếp này: ống quang phát sáng bằng tia hồng ngoại bị vỡ. Điều đó không chỉ khiến máy ngừng hoạt động, mà còn gây ra tình trạng lộn xộn nghiêm trọng. Khi ống quang vỡ, các mảnh thủy tinh và chất halogen sẽ rơi trực tiếp xuống các wafer. Chỉ cần một vụ nổ nhỏ thôi cũng đủ để làm hỏng toàn bộ lô sản phẩm. Thật là thảm họa.
Chúng tôi đã tìm ra cách ngăn chặn điều này bằng cách sử dụng hệ thống phản xạ an toàn.
Phương pháp bảo vệ
Hầu hết mọi người nghĩ rằng các tấm phản xạ chỉ có chức năng đẩy lại tia hồng ngoại về phía wafer. Đúng là vậy, nhưng chúng tôi còn sử dụng chúng như một lớp bảo vệ vật lý. Bằng cách bọc kín ống quang bằng vỏ bảo vệ, chúng tạo ra một khu vực được bảo vệ. Nếu ống quang bị vỡ, các mảnh vỡ sẽ bị giữ lại bên trong vỏ bảo vệ, không thể lan vào buồng xử lý wafer. Đơn giản thôi, nhưng cách này giúp bảo vệ các wafer khỏi bị hư hại.
Yếu tố nhiệt độ, vật liệu và hiện tượng biến dạng
Các ống quang có công suất cao sẽ tỏa ra nhiệt lượng rất lớn. Nếu vật liệu dùng để chế tạo tấm phản xạ không chịu được nhiệt độ này, chúng sẽ bị biến dạng. Khi đó, điểm tập trung ánh sáng sẽ thay đổi, gây ra những vùng nóng trên bề mặt wafer. Điều này rõ ràng không tốt chút nào.
Tùy thuộc vào bước sóng cần sử dụng, chúng tôi chọn vật liệu làm từ nhôm có độ tinh khiết cao hoặc hợp kim mạ vàng. Những vật liệu này vẫn giữ được hình dạng ban đầu ngay cả khi chịu tác động của nhiệt độ cao.
Một mẹo nhỏ: Hãy kiểm tra các bộ quạt làm mát. Nếu không khí trong buồng máy không được luân chuyển tốt, nhiệt độ sẽ tăng lên đáng kể. Điều này sẽ khiến ống quang hỏng nhanh hơn bình thường.
Áp dụng trong thực tế
Chúng tôi thiết kế sản phẩm này sao cho có thể thay thế ống quang một cách dễ dàng. Bạn chỉ cần thay thế ống quang mà không cần mất nhiều thời gian để điều chỉnh lại toàn bộ hệ thống quang học. Đơn giản thôi.
Chúng tôi cũng loại bỏ cách kết nối bằng ma sát. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng các khóa cơ học để cố định ống quang. Cách kết nối bằng ma sát sẽ gây áp lực lớn lên đầu ống quang, đặc biệt là khi có rung động, điều này dẫn đến việc ống quang bị hỏng sớm.
Liệu vỏ bảo vệ có chiếm thêm không gian trong máy hay không? Vâng, có. Nhưng đó là cái giá nhỏ để đảm bảo rằng bạn không cần phải dọn dẹp các mảnh thủy tinh khỏi dây chuyền sản xuất nữa.