На площадці виробництва зміна температури під час сушіння фотополімеру чи пластин не є просто проблемою, пов’язаною з технічними характеристиками обладнання – це може призвести до провалу всього процесу виробництва. Старомодні лампи намагаються підтримувати задану температуру, але коли умови середовища змінюються, це призводить до появи дефектів на поверхні пластини.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо лампи з короткохвильовими галогеновими/кварцовими елементами та системою контролю температури з замкнутим циклом. Це дозволяє підтримувати однакову температуру на всій поверхні пластини в межах ±0,1°C. Камера забезпечує стабільний рівень кількості частинок у класній чистій кімнаті, а сама лампа не створює жодних додаткових частинок. Повторюваність результатів залишається стабільною протягом понад 5 000 годин, при цьому зміна інтенсивності світіння становить менше 5%. Таким чином, параметри процесу сушіння залишаються стабільними з партії до партії.
Це має велике значення для процесу літографії: лампа забезпечує точне контролювання температури під час сушіння фотополімеру, що допомагає уникнути проблем, пов’язаних із залишками розчинників. Під час чищення та сушіння пластин лампа забезпечує швидке та контрольоване нагрівання, що скорочує час процесу без перегріву. Для процесу загущення матеріалу лампа забезпечує стабільні умови температури, необхідні для правильного загущення матеріалу без його деформації.
Результатом є менша кількість необхідних корекцій, стабільний контроль якості продукції та надійна продуктивність.
Кілька практичних порад
Ці лампи підходять як для нового обладнання, так і для його модернізації. Однак інтерфейс лампи мусить бути з’єднаний із системою подачі газу та відведення парів. Необхідно також забезпечити належну електричну інфраструктуру в чистій кімнаті та переконатися, що тепловий режим обладнання може витримати необхідні параметри нагріву. Тривалість служби лампи є значною, але її інтенсивність все одно потребує періодичної корекції – це має бути частиною профілактичного обслуговування для збереження стабільності параметрів.